国产光刻机工厂落地雄安？中国电子院辟谣|第一真相

近日据媒体报道，清华EUV新项目把ASML的光刻机巨大化，完成了光刻技术产业化，并配图图片称该新项目已经在雄安新区规划落地式。

针对相关报道，中电科工程设计院有限责任公司（下称“中电科院”）官方网日前公布微信平台文章内容给予避谣。

中电科院表明网爆图中所示新项目并不是国产光刻机加工厂，反而是北京市高能同步辐射光源新项目（HEPS）。此项目位于北京市怀柔雁栖湖畔，是我国“十三五”重大科技基础设施建设，它是我国第一台高效率能量同步辐射光源，也是全球色度最高第四代同步辐射光源之一，早就在2019年就开始建设，将在2025年底交付使用。

在避谣的前提下，中电科院还对北京高能同步辐射光源新项目进行了简要介绍和科谱。

据了解，HEPS作用是根据网络加速器将离子束加速到6GeV，随后引入直径1360米储存环，用贴近光速的速度维持运行。离子束在储存环的不同部位根据弯转磁石或者各种插进件时，便会顺着偏移路轨断线方向释放出来平稳、高效率能量、亮度对比月亮的光，其实就是同步辐射光。

HEPS可以看成是一个超精密、快速、拥有强大穿透力的超大X光机，它造成这个小光线可以穿透化学物质、深层次内进行立体式扫描仪，从分子结构、分子的尺度多层次地观察神秘的宇宙。

中电科院称，该项目由全国各地勘察设计大师、国投集团首席科学家娄宇领队、中电科院好几个技术性科研和设计方案团队协同协作，攻克了多种技术和工艺困难，克服了新项目基础沉降、微振动操纵、超长结构设计方案、光伏发电板设计方案、高精密温控、加工工艺循环冷却水系统、超繁杂工艺方案等七大瓶颈问题，完成了重要科技突破。

现阶段高能同步辐射光源配套设施已全面竣工，向造成世界上最“亮”月亮的光又更近了一步。

中电科院特别指出，HEPS是做好科学试验的大科学装置，并非网传的光刻技术加工厂。